易冷卻的玻璃濺射機構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及玻璃鍍膜設(shè)備，具體地，涉及易冷卻的玻璃濺射機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]濺射設(shè)備是設(shè)計用于在平板建筑玻璃上鍍制低輻射膜、低輻射太陽膜以及陽光控制膜，玻璃板由水平輸送系統(tǒng)傳送至鍍膜室進行處理，傳統(tǒng)的濺射設(shè)備其運輸機構(gòu)和靶材機構(gòu)之間并沒有設(shè)置有擋板，靶材機構(gòu)在使用前需要進行試濺射來調(diào)節(jié)濺射參數(shù)，試濺射時的濺射粒子會之間打在運輸機構(gòu)上，不僅不利于粒子的收集再利用，同時運輸機構(gòu)長期濺射后會受到腐蝕，影響其使用壽命。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種玻璃濺射機構(gòu)，解決了傳統(tǒng)的濺射設(shè)備其運輸機構(gòu)和靶材機構(gòu)之間并沒有設(shè)置有擋板，不利于靶材機構(gòu)調(diào)試的問題。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種易冷卻的玻璃濺射機構(gòu)，其中，所述玻璃濺射機構(gòu)包括殼體，所述殼體內(nèi)部的上端固定有靶材機構(gòu)，所述靶材機構(gòu)下方設(shè)有擋板，所述擋板的周邊垂直設(shè)置有豎板，所述豎板與所述殼體內(nèi)壁之間設(shè)有冷卻管，所述擋板上設(shè)有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構(gòu)的正下方，所述擋板中靠近所述靶材機構(gòu)的表面上可移動地設(shè)有第一滑板和第二滑板，通過滑動所述第一滑板和所述第二滑板可以將所述貫穿槽遮蔽。
[0005]優(yōu)選地，所述豎板與所述殼體內(nèi)壁之間形成有空間，所述空間內(nèi)自上而下設(shè)置有多個圈冷卻管，所述冷卻管至少部分與所述豎板相接觸。
[0006]優(yōu)選地，所述冷卻管表面涂抹有硅膠。
[0007]優(yōu)選地，所述擋板中靠近所述靶材機構(gòu)的表面上設(shè)有滑道，所述第一滑板和所述第二滑板可滑動地設(shè)于所述滑道上。
[0008]優(yōu)選地，所述擋板下方沿第一方向順次設(shè)有多個輥筒，多個輥筒上放置有玻璃基片，使得所述玻璃基片可以在所述輥筒上沿所述第一方向滑動。
[0009]優(yōu)選地，所述輥筒上套接有多個橡膠套，多個所述橡膠套沿所述輥筒的軸向方向等距分布。
[0010]優(yōu)選地，所述橡膠套的數(shù)量4-8個。
[0011]根據(jù)上述技術(shù)方案，本發(fā)明提供了一種易冷卻的玻璃濺射機構(gòu)，其中，所述玻璃濺射機構(gòu)包括殼體，所述殼體內(nèi)部的上端固定有靶材機構(gòu)，所述靶材機構(gòu)下方設(shè)有擋板，所述擋板的周邊垂直設(shè)置有豎板，所述豎板與所述殼體內(nèi)壁之間設(shè)有冷卻管，所述擋板上設(shè)有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構(gòu)的正下方，所述擋板中靠近所述靶材機構(gòu)的表面上可移動地設(shè)有第一滑板和第二滑板，通過滑動所述第一滑板和所述第二滑板可以將所述貫穿槽遮蔽。靶材機構(gòu)試濺射時可以利用第一滑板和第二滑板將貫穿槽遮蔽，濺射粒子會附著在第一滑板和第二滑板表面，也利于粒子的回收，同時可以利用第一滑板和第二滑板來控制貫穿槽的大小，從而調(diào)節(jié)濺射粒子附著在玻璃基片上的大小，使得粒子更加集中的附著在玻璃基片表面，提高鍍膜質(zhì)量，同時，所述豎板與所述殼體內(nèi)壁之間設(shè)有冷卻管，通過冷卻管內(nèi)的冷水循環(huán)將豎版和擋板上的熱量帶走，防止擋板和豎版受熱變形，利于鍍膜室的散熱，大大提高內(nèi)部元件的使用壽命。
[0012]本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點將在隨后的【具體實施方式】部分予以詳細說明。
【附圖說明】
[0013]附圖是用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0014]圖1是本發(fā)明提供的玻璃濺射機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本發(fā)明提供的玻璃濺射機構(gòu)的擋板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]附圖標(biāo)記說明
[0017]1-殼體2-擋板
[0018]3-冷卻管51-第一滑板
[0019]52-第二滑板6-棍筒
[0020]7-玻璃基片8-靶材機構(gòu)
【具體實施方式】
[0021]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0022]如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供了一種易冷卻的玻璃濺射機構(gòu)，其中，所述玻璃濺射機構(gòu)包括殼體I，所述殼體I內(nèi)部的上端固定有靶材機構(gòu)8，所述靶材機構(gòu)8下方設(shè)有擋板2，所述擋板2的周邊垂直設(shè)置有豎板，所述豎板與所述殼體I內(nèi)壁之間設(shè)有冷卻管3，所述擋板2上設(shè)有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構(gòu)8的正下方，所述擋板2中靠近所述靶材機構(gòu)8的表面上可移動地設(shè)有第一滑板51和第二滑板52，通過滑動所述第一滑板51和所述第二滑板52可以將所述貫穿槽遮蔽。靶材機構(gòu)8試濺射時可以利用第一滑板51和第二滑板52將貫穿槽遮蔽，濺射粒子會附著在第一滑板51和第二滑板52表面，也利于粒子的回收，同時可以利用第一滑板51和第二滑板52來控制貫穿槽的大小，從而調(diào)節(jié)濺射粒子附著在玻璃基片7上的大小，使得粒子更加集中的附著在玻璃基片表面，提高鍍膜質(zhì)量，同時，所述豎板與所述殼體I內(nèi)壁之間設(shè)有冷卻管3，通過冷卻管3內(nèi)的冷水循環(huán)將豎版和擋板2上的熱量帶走，防止擋板2和豎版受熱變形，利于鍍膜室的散熱，大大提高內(nèi)部元件的使用壽命。
[0023]在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實施方式中，為了使得豎版和擋板2上的熱量更好的散出，所述豎板與所述殼體I內(nèi)壁之間形成有空間，所述空間內(nèi)自上而下設(shè)置有多個圈冷卻管3，所述冷卻管3至少部分與所述豎板相接觸。
[0024]在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實施方式中，為了進一步提高冷卻管3的散熱效率，所述冷卻管3表面涂抹有娃膠。
[0025]在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實施方式中，為了減少第一滑板51和第二滑板52在擋板2表面滑動時的摩擦力，減少擋板2表面的磨損，所述擋板2中靠近所述靶材機構(gòu)8的表面上設(shè)有滑道，所述第一滑板51和所述第二滑板52可滑動地設(shè)于所述滑道上。
[0026]在本發(fā)明的一種優(yōu)選的實施方式中，所述擋板2下方沿第一方向順次設(shè)有多個輥筒6，多個輥筒6上放置有玻璃基片7，使得所述玻璃基片7可以在所述輥筒6上沿所述第一方向滑動。
[0027]在本發(fā)明的一種更為優(yōu)選的實施方式中，為了使得玻璃基片7與輥筒6更為柔和的接觸，防止玻璃基片7在輥筒6上滑動時產(chǎn)生劃痕，所述輥筒6上套接有多個橡膠套，多個所述橡膠套沿所述輥筒6的軸向方向等距分布，優(yōu)選的，所述橡膠套的數(shù)量4-8個。
[0028]以上結(jié)合附圖詳細描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但是，本發(fā)明并不限于上述實施方式中的具體細節(jié)，在本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0029]另外需要說明的是，在上述【具體實施方式】中所描述的各個具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合，為了避免不必要的重復(fù)，本發(fā)明對各種可能的組合方式不再另行說明。
[0030]此外，本發(fā)明的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本發(fā)明的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明所公開的內(nèi)容。
【主權(quán)項】
1.一種易冷卻的玻璃派射機構(gòu)，其特征在于，所述玻璃派射機構(gòu)包括殼體(I)，所述殼體(I)內(nèi)部的上端固定有靶材機構(gòu)(8)，所述靶材機構(gòu)(8)下方設(shè)有擋板(2)，所述擋板(2)的周邊垂直設(shè)置有豎板，所述豎板與所述殼體(I)內(nèi)壁之間設(shè)有冷卻管(3)，所述擋板(2)上設(shè)有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構(gòu)(8)的正下方，所述擋板(2)中靠近所述靶材機構(gòu)(8)的表面上可移動地設(shè)有第一滑板(51)和第二滑板(52)，通過滑動所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52)可以將所述貫穿槽遮蔽。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃濺射機構(gòu)，其特征在于，所述豎板與所述殼體(I)內(nèi)壁之間形成有空間，所述空間內(nèi)自上而下設(shè)置有多個圈冷卻管(3)，所述冷卻管(3)至少部分與所述豎板相接觸。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃濺射機構(gòu)，其特征在于，所述冷卻管(3)表面涂抹有硅膠。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃濺射機構(gòu)，其特征在于，所述擋板(2)中靠近所述靶材機構(gòu)(8)的表面上設(shè)有滑道，所述第一滑板(51)和所述第二滑板(52)可滑動地設(shè)于所述滑道上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃濺射機構(gòu)，其特征在于，所述擋板(2)下方沿第一方向順次設(shè)有多個輥筒(6)，多個輥筒(6)上放置有玻璃基片(7)，使得所述玻璃基片(7)可以在所述輥筒(6)上沿所述第一方向滑動。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃濺射機構(gòu)，其特征在于，所述輥筒(6)上套接有多個橡膠套，多個所述橡膠套沿所述輥筒(6)的軸向方向等距分布。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的玻璃濺射機構(gòu)，其特征在于，所述橡膠套的數(shù)量4-8個。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種易冷卻的玻璃濺射機構(gòu)，其中，所述玻璃濺射機構(gòu)包括殼體，所述殼體內(nèi)部的上端固定有靶材機構(gòu)，所述靶材機構(gòu)下方設(shè)有擋板，所述擋板的周邊垂直設(shè)置有豎板，所述豎板與所述殼體內(nèi)壁之間設(shè)有冷卻管，所述擋板上設(shè)有貫穿槽，所述貫穿槽位于所述靶材機構(gòu)的正下方，所述擋板中靠近所述靶材機構(gòu)的表面上可移動地設(shè)有第一滑板和第二滑板，通過滑動所述第一滑板和所述第二滑板可以將所述貫穿槽遮蔽。解決了傳統(tǒng)的濺射設(shè)備其運輸機構(gòu)和靶材機構(gòu)之間并沒有設(shè)置有擋板，不利于靶材機構(gòu)調(diào)試的問題。
【IPC分類】C23C14/34
【公開號】CN105714255
【申請?zhí)枴緾N201610266319
【發(fā)明人】金海濤, 薛輝, 昌江, 任俊春
【申請人】蕪湖真空科技有限公司